如何正確操作光刻設備

正確操作光刻設備是確保產品質量的關鍵。本文將介紹光刻設備的基本操作流程，從設備的預熱到曝光，最後到顯影的每一個步驟，幫助操作人員充分理解並掌握操作技巧，避免常見錯誤。